Usado etch en Gyeonggi, Corea del Sur

M/PLEX ICP AL

SLR-770

M/PLEX ICP SI

TelPla AG200

LAM TORUS 300K

• Fabricante: Lam Research - Novellus
• Modelo: TORUS 300K

NOVELLUS PEP3510

• Fabricante: Lam Research - Novellus

GASONICS GASONIC L3510

• Fabricante: GaSonics

LAM TORUS 300S

• Fabricante: Lam Research - Novellus
• Modelo: TORUS 300S

Unaxis VERSALINE ICP(DSE-III)

• Fabricante: Unaxis

2006 TEL Telius SCCM

• Fabricante: Tokyo Electron - TEL
• Modelo: TELIUS SCCM

Tamaño de la oblea: 12”

2005 LAM / Novellus C2 Dual Sequel Express

• Fabricante: Lam Research - Novellus

Tamaño de la oblea: 8”

APPLIED MATERIALS ENABLER_E2

• Fabricante: Amat
• Modelo: ENABLERE2

MATTSON MATTSON PARADIGME

• Fabricante: Mattson