GASONICS GASONIC L3510 en Gyeonggi, Corea del Sur
Usado
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Especificaciones
- Condición
- usado
- Categoría
- Etching Systems en Corea del Sur
- Subcategoría
- Etch
- Subcategoría 2
- Gasonics
- Subcategoría 3
- Maquinaria
- ID de Anuncio
- 83493059
Descripción
GASONIC L3510 Unidad individual de obleas hacia abajo
Bajo secador de fotoresina
Configurado para 8" (puede cambiar a 6")
Tubo de plasma de cuarzo y separadores
ASTEX Microondas 1,2 kW
Control de temperatura
Oblea enfriada
Cámara de proceso de aluminio
Manipulador robótico de recogida y colocación de obleas (KORO)
Estación de casete único en posición fija
Estación de enfriamiento posterior al proceso
Detección de punto final hacia abajo
Software SEMI SECS
2 controladores de caudal másico de gas: O2 4slpm, N2 2slpm
Potencia del sistema: 208 VAC, 60 A, 3 fases, 50/60 Hz
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