Usado Etching Systems en Gyeonggi, Corea del Sur

GASONICS GASONIC L3510

• Fabricante: GaSonics

LAM TORUS 300S

• Fabricante: Lam Research - Novellus
• Modelo: TORUS 300S

2006 TEL Telius SCCM

• Fabricante: Tokyo Electron - TEL
• Modelo: TELIUS SCCM

Tamaño de la oblea: 12”

2005 LAM / Novellus C2 Dual Sequel Express

• Fabricante: Lam Research - Novellus

Tamaño de la oblea: 8”

Poly Etcher System (Conductor Etcher System)