Los equipos de limpieza de obleas eliminan partículas, residuos orgánicos, metales y películas de las obleas de semiconductores durante la fabricación. Incluyen wet benches, procesadores de oblea individual, secadores spin/rinse, limpiadores megasonicos y de plasma. Controlan químicos, temperatura, agitación y la pureza del agua DI para cumplir límites de contaminación estrictos. Las máquinas usadas se usan en ampliaciones de fabs, I+D y fabricación por contrato.
Revisa historiales de mantenimiento y uso de químicos, estado de bombas, sellos, válvulas y circuitos DI, presencia de contaminación, versión del software de control, disponibilidad de repuestos y modificaciones realizadas. Confirma compatibilidad con tus procesos y tamaños de oblea.
Vacía y neutraliza químicos, enjuaga circuitos DI, asegura componentes frágiles (transductores, sensores), protege la electrónica, embala con aislación contra vibraciones y usa transporte controlado por clima. Declara materiales peligrosos y coordina izado cualificado.
Controla calidad de agua DI, cambia filtros y tuberías químicas según calendario, revisa bombas y sellos, verifica rendimiento megasonic/plasma, limpia tanques y wet benches y mantiene software y registros actualizados. Sigue intervalos del fabricante.