Usado en Seúl, Corea del Sur

2002 HITACHI S-9220

• Fabricante: Hitachi
• Modelo: S-9220

Tamaño de la oblea: 200MM

2014 HITACHI S-5500

• Fabricante: Hitachi
• Modelo: S-5500

2014 SCREEN SU3200

• Fabricante: PANTALLA

Tamaño de la oblea: 300MM

2006 HITACHI S-4800

• Fabricante: Hitachi
• Modelo: S-4800

Tamaño de la oblea: 300MM

2014 SCREEN SU3100

• Fabricante: Screen

Tamaño de la oblea: 300MM

2000 HITACHI S-4700

• Fabricante: Hitachi
• Modelo: S-4700

2007 DNS SS3000-AR

• Fabricante: Dainippon Screen
• Modelo: SS-3000AR

Tamaño de la oblea: 300MM

2012 FSI ZETA 300 G3

• Fabricante: FSI
• Modelo: ZETA 300 G3

Tamaño de la oblea: 300MM

2012 DNS SS-3100

• Fabricante: Dainippon Screen
• Modelo: SS-3100

Tamaño de la oblea: 300MM

2005 TEL NS300

• Fabricante: Tokyo Electron - TEL
• Modelo: NS300

Tamaño de la oblea: 300MM

2011 LAM DV-PRIME

• Fabricante: Lam Research - Novellus

Tamaño de la oblea: 300MM

2012 TEL INDY PLUS-A-M

• Fabricante: Tokyo Electron - TEL
• Modelo: INDY PLUS

Tamaño de la oblea: 300MM

2015 LAM EOS

• Fabricante: Lam Research - Novellus
• Modelo: EOS

Tamaño de la oblea: 300MM

2007 LAM/SEZ DV38-DS

• Fabricante: LAM/SEZ

Tamaño de la oblea: 300MM

2004 TEL ALPHA-303I-K

• Fabricante: Tokyo Electron - TEL
• Modelo: Alpha-303i

Tamaño de la oblea: 300MM