Usado en Seúl, Corea del Sur

2008 KLA-TENCOR KLA2810

• Fabricante: KLA-Tencor
• Modelo: KLA2810

Tamaño de la oblea: 300MM

2007 NANOMETRICS ATLAS

• Fabricante: Nanometrics
• Modelo: ATLAS

Tamaño de la oblea: 200MM

2006 KLA-TENCOR Aleris HX

• Fabricante: KLA-Tencor

Tamaño de la oblea: 300MM

2004 KLA Spectrum FX100

• Fabricante: KLA-Tencor

Tamaño de la oblea: 300MM

2008 KLA Spectra FX200

• Fabricante: KLA-Tencor

Tamaño de la oblea: 300MM

2001 KLA-TENCOR ASET-F5X

• Fabricante: KLA-Tencor
• Modelo: ASET F5X

2006 KLA-TENCOR HRP-340

• Fabricante: KLA-Tencor

Tamaño de la oblea: 300MM

2010 KLA-TENCOR HRP-350

• Fabricante: KLA-Tencor

Tamaño de la oblea: 300MM

2011 AMAT SEMVISION G5

• Fabricante: Amat
• Modelo: Semvision

Tamaño de la oblea: 300MM

2010 AMAT SEMVISION G4

• Fabricante: Amat
• Modelo: Semvision

Tamaño de la oblea: 300MM

2010 AMAT CompPLUS 4T

• Fabricante: Amat

Tamaño de la oblea: 300MM

2004 AMAT SEMVision G2

• Fabricante: Amat
• Modelo: Semvision

Tamaño de la oblea: 300MM

2010 AMAT SEMVISION G3

• Fabricante: Amat
• Modelo: Semvision

Tamaño de la oblea: 300MM

2012 HITACHI CG4100

• Fabricante: Hitachi
• Modelo: CG4100

Tamaño de la oblea: 300MM

2006 HITACHI HD2300

• Fabricante: Hitachi
• Modelo: HD-2300