 - MKS, 1179A51CR1CV-K, Controlador de caudal másico (MFC)- Fabricante: MKS
 - Número de serie: 100008572 | Cantidad: 1 | Detalle del equipo: Controlador de caudal másico (MFC) | Equipo: Controlador de caudal másico (MFC) | Descripción: Gas: 10% PH3/AR, Alcance: 50SCCM Suwon, Corea del Sur
 - MKS, 1179A51CR1CV-S, Controlador de caudal másico (MFC)- Fabricante: MKS
 - Número de serie: 1179A3332409 | Cantidad: 1 | Detalle del equipo: Controlador de caudal másico (MFC) | Equipo: Controlador de caudal másico (MFC) | Descripción: Gas: GEH4(90% )+N2(10% ), Alcance: 30SCCM Suwon, Corea del Sur

