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 - Mykrolis, FC-280SAV, Controladores de caudal másico (MFC)- Fabricante: Mykrolis
 - Número de serie: AW910137 | Cantidad: 1 | Detalle del equipo: Controlador de caudal másico (MFC) | Equipo: Controlador de caudal másico (MFC) | Descripción: Gas: HE, Alcance: 100SCCM Suwon, Corea del Sur
 - TYLAN, FC-280SAV, Controlador de caudal másico (MFC)- Fabricante: TYLAN
 - Número de serie: AW9511186 | Cantidad: 1 | Detalle del equipo: Controlador de caudal másico (MFC) | Equipo: Controlador de caudal másico (MFC) | Descripción: Gas: H2, Alcance: 10SLM Suwon, Corea del Sur
 - HORIBA STEC, SEC-4400M, Controlador de caudal másico (MFC)- Fabricante: Horiba
- Modelo: SEC-4400M
 - Número de serie: 281104762 | Cantidad: 1 | Detalle del equipo: Controlador de caudal másico (MFC) | Equipo: Controlador de caudal másico (MFC) | Descripción: Gas: O2, Alcance: 2SLM Suwon, Corea del Sur
