Usado etch

Unaxis VERSALINE ICP(DSE-III)

• Fabricante: Unaxis

NOVELLUS PEP3510

• Fabricante: Lam Research - Novellus

2006 TEL Telius SCCM

• Fabricante: Tokyo Electron - TEL
• Modelo: TELIUS SCCM

Tamaño de la oblea: 12”

2005 LAM / Novellus C2 Doble Secuela Express

• Fabricante: Lam Research - Novellus

Tamaño de la oblea: 8”

APPLIED MATERIALS ENABLER_E2

• Fabricante: Amat
• Modelo: ENABLERE2

MATTSON MATTSON PARADIGME

• Fabricante: Mattson