Contenedor de descarga SP6/12
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Rheurdt, Alemania
Contenedor de descarga BE (EGB)
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Cabezal de exploración Eje Y
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Silenciador del aire de escape
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Contenedor de residuos
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Placa de medio puente de 6 canales
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Cable de control de la iluminación
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Interfaz IEC Ordenador Linux (PCI-GPIB)
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Unidad de soplado SP 12
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Cinta adhesiva F5-HM CF
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Cable Bowden
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Procesador de cabezal HS50
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Convertidor CC/CC KSP-SV501 +/-15V
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Accionamiento del eje Z
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Tablero de medición de vacío
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