Usado 1.5 en Reino Unido

EVG 501
- Fabricante: EVG
- Modelo: 501
Tamaño de la oblea: hasta 6”/150 mm | Fuerza de unión máxima: 7 kN | Calentador superior: 550°C max. en pasos de 1°C | Calentador inferior: 550°C max. en pasos de 1°C | Uniformidad de temperatura: ± 1,5 %
Ashford, Reino Unido
2000 EVG 520
- Fabricante: EVG
- Modelo: 520
Tamaño de la oblea: hasta 6"/150 mm capable | Fuerza de unión máxima: 20 kN | Calentador superior: 550°C max. en pasos de 1°C | Calentador inferior: 550°C max. en pasos de 1°C | Uniformidad de temperatura: ± 1,5 %
Ashford, Reino Unido
2005 EVG 520
- Fabricante: EVG
- Modelo: 520
Tamaño de la oblea: hasta 6"/150 mm capable | Fuerza de unión máxima: 40 kN | Calentador superior: 550°C max. en pasos de 1°C | Calentador inferior: 550°C max. en pasos de 1°C | Uniformidad de temperatura: ± 1,5 %
Ashford, Reino Unido
2008 EVG 520IS
- Fabricante: EVG
- Modelo: 520IS
Tamaño de la oblea: hasta 6"/150 mm capable | Fuerza de unión máxima: 60 kN | Calentador superior: 550°C max. en pasos de 1°C | Calentador inferior: 550°C max. en pasos de 1°C | Uniformidad de temperatura: ± 1,5 %
Ashford, Reino Unido