Usado en Corea del Sur

2000 HITACHI S-4700

• Fabricante: Hitachi
• Modelo: S-4700

2007 DNS SS3000-AR

• Fabricante: Dainippon Screen
• Modelo: SS-3000AR

Tamaño de la oblea: 300MM

2012 FSI ZETA 300 G3

• Fabricante: FSI
• Modelo: ZETA 300 G3

Tamaño de la oblea: 300MM

2012 DNS SS-3100

• Fabricante: Dainippon Screen
• Modelo: SS-3100

Tamaño de la oblea: 300MM

2005 TEL NS300

• Fabricante: Tokyo Electron - TEL
• Modelo: NS300

Tamaño de la oblea: 300MM

2011 LAM DV-PRIME

• Fabricante: Lam Research - Novellus

Tamaño de la oblea: 300MM

2012 TEL INDY PLUS-A-M

• Fabricante: Tokyo Electron - TEL
• Modelo: INDY PLUS

Tamaño de la oblea: 300MM

2015 LAM EOS

• Fabricante: Lam Research - Novellus
• Modelo: EOS

Tamaño de la oblea: 300MM

2007 LAM/SEZ DV38-DS

• Fabricante: LAM/SEZ

Tamaño de la oblea: 300MM

2004 TEL ALPHA-303I-K

• Fabricante: Tokyo Electron - TEL
• Modelo: Alpha-303i

Tamaño de la oblea: 300MM

2007 TEL INDY-B-L

• Fabricante: Tokyo Electron - TEL
• Modelo: INDY-B-L

Tamaño de la oblea: 300MM

SEMITOOL(AMAT) SRADER

• Fabricante: Amat
• Modelo: Raider

Tamaño de la oblea: 200MM

ASM 2010 A412

• Fabricante: ASM
• Modelo: A412

Tamaño de la oblea: 300MM

2000 KOKUSAI DD853V

• Fabricante: Kokusai

Tamaño de la oblea: 200MM

2013 AMAT ENDURA2

• Fabricante: Amat
• Modelo: Endura

Tamaño de la oblea: 300MM