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 - 2016 Brooks, GF100, Controladores de caudal másico (MFC)- Fabricante: Brooks
 - Número de serie: N/A | Cantidad: 1 | Detalle del equipo: Controladores de caudal másico (MFC) | Equipo: Controladores de caudal másico (MFC) | Descripción: Alcance: 3~860/861~7200/7201~30000SCCM Suwon, Corea del Sur
 - 2010 BROOKS, PC115X-104545, Controladores de caudal másico (MFC)- Fabricante: Brooks
 - Número de serie: 01B73804210 | Cantidad: 6 | Detalle del equipo: Controladores de caudal másico (MFC) | Equipo: Controladores de caudal másico (MFC) | Descripción: N/A Suwon, Corea del Sur
 - HORIBA STEC, SEC-4400M, Controlador de caudal másico (MFC)- Fabricante: Horiba
- Modelo: SEC-4400M
 - Número de serie: 1321101770 | Cantidad: 1 | Detalle del equipo: Controlador de caudal másico (MFC) | Equipo: Controlador de caudal másico (MFC) | Descripción: Gas: HE, Alcance: 100SCCM Suwon, Corea del Sur
