Matching Networks en Singapur

Seren “AT Series“ redes de acoplamiento automáticas transforman automáticamente impedancias de plasma a 50 ohmios, independientemente de las variaciones de carga, con el avanzado y inteligente controlador de red de acoplamiento MC-2.
El controlador MC-2 está diseñado para cumplir la precisión y repetibilidad requeridas por los procesos más exigentes. Las características estándar del controlador MC-2 incluyen: selección independiente de Operación Automática / Manual de las cargas y sintonizadores, Preset de Disparo de Registro, Presets Internos y Externos Programables, Función de Retirada, Selección de Sonda, Factor de Atenuación de la Sonda y Límites Programables. Los mandos e indicadores del panel frontal MC-2 están organizados lógicamente, con el estado de funcionamiento mostrado en una pantalla de 4 líneas de Visualización Fluorescente de Vacío. Información de la pantalla disponible: Potencia Directa del Generador, Potencia Reflejada del Generador, Voltaje de la Sonda DC o RF, Posiciones de los Condensadores, Posiciones de los Presets y Señales de Error de Fase/Magnitud.