scoutGX – Monitoreo de gases en proceso en línea totalmente automatizado en Omaha, Nebraska, USA
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Especificaciones
- Condición
- nuevo
- Subcategoría
- Sistemas de monitorización en línea de semiconductores scout
- ID de Anuncio
- 91244359
Descripción
scoutGX – Sistema totalmente automatizado de monitoreo en línea de gases de proceso de contaminación con metales y nanopartículas
scoutGX es un sistema completamente automatizado para el monitoreo en línea de contaminantes metálicos y de nanopartículas en gases de proceso ultrapuros, no tóxicos para semiconductores.
Monitoreo en tiempo real
Monitoreo automatizado de gases de proceso
Detección y notificación inmediatas de contaminación
Hasta 16 conexiones de gas de proceso
Monitorea CO
2
, N
2
, O
2
, Ar, He, Ne y otros
Intercambiador de gas en línea
Elimina muestreo manual
Elimina los peligros químicos asociados con técnicas de trampa tradicionales
Reduce los límites de detección
Detecta contaminación por metales y nanopartículas
Facilidad de uso
Determina simultáneamente datos de nanopartículas y metales totales
Autocalibración
concentraciones de ppt a sub-ppt
medición de nanopartículas sensible y precisa
Opciones flexibles de informes, incluyendo SECS/GEM
Diagrama de flujo scoutGX
Diagrama de ejemplo para monitoreo directo de gases de proceso de semiconductores utilizando scoutGX.
Diagrama de Intercambiador de Gas en Línea