Yamato PR301
- Fabricante: Yamato
Sistema: modo DP, tipo barril | Salida de alta frecuencia: Máx. 300W | Frecuencia de oscilación: 13.56MHz | Método de ajuste: Manual biaxial | Cámara de reacción: Vidrio Pyrex φ118 × L160mm x 1 cámara | Sistema d...
Tokio, JapónYamato PR200
- Fabricante: Yamato
Sistema: modo DP, tipo barril | Salida de alta frecuencia: Máx. 200W | Frecuencia de oscilación: 13.56MHz | Método de ajuste: Automático | Cámara de reacción: Vidrio Pyrex φ100× L160mm | Sistema de gas de reacció...
Tokio, JapónYamato V1000XS
- Fabricante: Yamato
Modo de plasma: DP/RIE | Frecuencia de oscilación: 13.56MHz | Potencia rf: 1,000 ~ 2,000W | Dimensiones del escenario: 400W × 375D mm, placa de escenario plana paralela (Multi) | Gas de reacción: Control de cauda...
Tokio, JapónYamato V1000
- Fabricante: Yamato
Modo de plasma: DP/RIE | Frecuencia de oscilación: 13.56MHz | Potencia rf: 1,000W | Dimensiones del escenario: 280W × 280D mm Etapa plana paralela | Gas de reacción: Control de caudal másico, 2 sistemas + 1 para ...
Tokio, JapónYamato PDC610
- Fabricante: Yamato
Modo de plasma: Cambio de modo RIE y DP mediante panel táctil | Estructura de electrodo: Etapa plana paralela de 3 etapas independiente | Potencia rf: MÁX. 600W | Frecuencia de oscilación: Oscilador de cuarzo de ...
Tokio, JapónYamato PR500
- Fabricante: Yamato
Sistema: modo DP, tipo barril | Salida de alta frecuencia: Máx. 500W | Frecuencia de oscilación: 13.56MHz | Método de ajuste: Ajuste automático | Cámara de reacción: Cuarzo φ215 × L305 mm x 1 cámara | Sistema de ...
Tokio, JapónYamato PR510
- Fabricante: Yamato
Sistema: modo DP, tipo barril | Salida de alta frecuencia: Máx. 500W | Frecuencia de oscilación: 13.56MHz | Método de ajuste: Ajuste automático | Cámara de reacción: Cuarzo φ215 × L305 mm x 1 cámara | Sistema de ...
Tokio, JapónYamato PDC210
- Fabricante: Yamato
- Modelo: PDC210
Modo de plasma: RIE(el modo DP es opcional) | Estructura de electrodo: Etapa plana paralela | Potencia rf: Máx. 500W | Frecuencia de oscilación: Oscilador de cuarzo de 13,56MHz | Mostrar: Panel táctil LED | Dimen...
Tokio, JapónYamato PDC510
- Fabricante: Yamato
Modo de plasma: RIE / modo DP intercambiables | Estructura de electrodo: Etapa plana paralela | Potencia rf: Máx. 500W | Frecuencia de oscilación: Oscilador de cuarzo de 13,56MHz | Mostrar: Panel táctil LED | Dim...
Tokio, JapónYamato PDC200
- Fabricante: Yamato
Plasma mode: RIE(DP mode is optional) | Electrode structure: Parallel flat stage | Rf power: MAX. 300W | Oscillation frequency: 13.56MHz Quartz Oscillator | Display: LED touch panel | Chamber dimensions: W400 × D...
Tokio, Japón